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紫外光解廢氣消毒設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體的分子鏈結構（如：氨、*胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯等），使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物（CO2、H2O等）。